​ CNC精密零配（pèi）件加工的特點

     超精密（mì）零配件加工方法的特點是對外表層物（wù）質去（qù）除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要獲得cnc超精密零件加工精度，仍有賴於精密的加工設備（bèi）和準確的克製係統，並采用超（chāo）精密掩膜作中介物。例如超大規（guī）模集（jí）成電路的製版（bǎn）即使采（cǎi）用電子束對掩膜（mó）上的光致（zhì）抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原（yuán）子在電子（zǐ）撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯（xiǎn）影（yǐng）劑把聚合過的（de）或未聚合（hé）過的部分溶（róng）解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用（yòng）工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設（shè）備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車（chē）床（chuáng）上用通過精細研磨的單晶金剛石（shí）車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微（wēi）米左右，常用於加工有色金屬材料的（de）球麵、非球麵和（hé）平麵的（de）反射鏡等高精（jīng）度、外表高（gāo）度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微米，外表粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚（shèn）至後以原子單位(原（yuán）子晶格距離為0.1～0.2納米（mǐ）)為目標時（shí），超精密（mì）零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零配件（jiàn）加工的（de）方法，即應用化學能、電化學能、熱能或（huò）電能（néng）等，使這些能量超越原子間（jiān）的聯合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著（zhe）、聯合或晶（jīng）格變形，以（yǐ）達到超精密加工的目（mù）的。屬於這類加（jiā）工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電（diàn）子束曝射（shè）、激光束加工、金屬（shǔ）蒸鍍和分子束外（wài）延等。